氯气检测仪

半导体专用氯气检测仪-简介资料

半导体专用SGA501氯气检测仪是专门为半导体制造行业设计的一款高精度、高可靠性的CL2气体报警器装置。氯气在半导体制造过程中有着重要应用，例如在蚀刻工艺中，氯气作为蚀刻气体用于去除硅片表面的多余材料，以形成精确的电路图案。然而，氯气是一种有毒、强氧化性的气体